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              股票代碼:603396

              產品特點

              1.程序控制精確,設備運行穩定

              2.自動更換石墨舟,提高產能,降低勞動強度

              3.機臺防腐蝕設計,提高使用壽命和可靠性

              4.花籃傳動可暫存3個花籃,降低人員勞動強度

              5.整機采用SMC,三菱,神視等進口元件

              6.采用特制吸盤,stuabile機器人

              7.可選色差檢測

              8.可選MES和遠程診斷

               

              技術參數

              管式PECVD上下料機                    

              JC.GF005

              產能

              8000pcs/h4000 load,4000 unload

              石墨舟規格

              294PC ,Pitch 13.5mm,(Customizable)

              硅片尺寸

              156mm*156mm

              上料方式

              100 Cassettestack /25/50/100 Optional

              下料方式

              100 Cassettestack/25/50/100 Optional

              碎片率

              0.3%

              設備尺寸(長×寬×高)

              L5684*W1840mm*H2135mm

              開機率

              98%

              耗電量

              3Ph,380VAC ,2KW,10A,1Ph ,220VAC,50Hz, 12KW, 50A                            

              耗氣量

              30L/min

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