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              股票代碼:603396

              產品特點

              1.程序控制精確,設備運行穩定

              2.自動更換石英舟,提高產能,降低勞動強度

              3.機臺防腐設計,提高使用壽命和可靠性

              4.花籃傳動可暫存3個花籃,降低人員勞動強度

              5.整機采用SMC,三菱,神視等進口元件

              6.采用特制陶瓷吸盤取放片

              7.可選方阻檢測

              8.可選MES和遠程診斷

               

              技術參數

              擴散上下料機

              JC.GF004

              產能

              10000pcs/h5000 load,5000 unload

              石英舟規格

              200/400/600/800/1000 ,Pitch 4.76mm/2.38mm                        

              硅片尺寸

              156mm*156mm

              上料方式

              50/100 Cassette

              下料方式

              50/100 Cassette

              碎片率

              0.5%

              設備尺寸(長×寬×高)              

              L3700*W2700mm*H2100mm

              開機率

              98%

              耗電量

              1Ph ,220VAC,50Hz, 8kW, 36A

              耗氣量

              30L/min

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