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              股票代碼:603396

              產品特點

              1.程序控制精確,設備運行穩定

              2.自動更換石墨框,提高產能,降低勞動強度

              3.機臺防腐設計,提高使用壽命和高可靠性

              4.花籃傳動可暫存3個花籃,降低人員勞動強度

              5.整機采用SMC,三菱,神視等進口元件

              6.采用伯努力利吸盤,保證低碎片率

              7.可選色差檢測

              8.可選MES和遠程診斷

               

              技術參數

              板式PECVD上下料機

              JC.GF006

              產能

              6000pcs/h3000 load,3000 unload

              上料方式

              100 Cassettestack /25/50/100 Optional

              下料方式

              100 Cassettestack/25/50/100 Optional

              硅片厚度

              0.16mm

              硅片寬度

              156mm*156mm

              碎片率

              0.05%

              開機率

              98%

              設備尺寸(長×寬×高)

              L4020*W3560mm*H1900mm

              操作高度

              1000mm±25mm

              碳框尺寸

              8*10 (5*5,5*6,8*10,9*10 Opitoinal)

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